热丝式流量传感器式通过气体流过时热丝式的温度变化量转换为流量进行检测，热量控制系统增加电流保持热丝恒定温度，气体流速与电流产生量成比例，流量和电流是非线性关系；线性化的实现通过微处理器及软件进行，以便产生可重复性流速的分布。热丝式电桥的一段，流量变化时热丝的温度、阻抗和电流变化，桥路不平衡，输出电压变化换算出流量。

德尔格EVITA和SAVINA都是热丝式流量传感器。具体的工作原理为呼吸气体沿着测量管，通过很细的铂金丝。铂金丝被加热到180℃，并在此温度下保持闭环控制系统。如果气体流过去，铂金丝热量被带走。每单位时间，散热越高，气体体积越大。